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高纯气体用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。高纯氦：用作氦气球、氦气飞艇的填充气体，以取代其有高度可燃性的氢气，与高纯二氧化碳和高纯氮气一起用作二氧化碳激光切割机的激光气体，液氦用于核磁共振成像仪的超导磁体，跟医用氧气一起用于深海作业的呼吸气体，用作空调领域氦漏仪的检漏气体，跟高纯氩气一起用作特殊焊接的保护气体，用作气相色谱仪/气质联用仪等仪器的载气。
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