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烟台工业气体和混合气体对配置装置的要求

2021-02-23 09:10:47

  工业气体同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,烟台工业气体电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP(电解研磨)级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统:正压试验1.5倍工作压力,持压30min;真空氦检漏:≤10-9atm.cc/s;系统水分:≤-80℃;微量氧:≤10×10-9;颗粒物测定:≤1EA/ft3at0.1μm;≤5EA/ft3at0.05μm。为了防止产生颗粒物,装置应配有耐高压、耐腐蚀过滤器,如PALL产0.003μm不锈钢烧结或PTFE(聚四氟乙烯)滤芯,并不定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量,当过滤效果下降,应立即更换滤芯或过滤器。

  烟台工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气:N2、H2、He、Ar、O2;组分气:PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99.9999%,在净化器的出口设有在线H2O、O2检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于剧毒或有毒化学品,吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气,化学法虽然能够通过反应进行中和,

  但由于涉及水溶液,因此,该法不是推荐方法,我们通常采用催化分解或燃烧的方法,可有效解决除AsH3以外的有毒气体,AsH3处理只是由气态有毒物变为固态而已。

  为了避免交叉污染,工业气体配气设备的数量应根据业务情况确定,这一点十分重要,如配完B2H65%-H2混合气,由于B2H6的化学特性,通过吹扫抽空很难在短时间内将吸附在系统内的残存B2H6吹净,若该系统再配制PH3混合气,无疑将严重污染该气体。由于它们同属于掺杂气体,稍有残留将无法使用。

  以上内容就是给大家详细讲解的关于烟台工业气体和混合气体对配置装置的要求,相信大家都有进一步的学习和了解了。如果大家还想了解更多资讯,请继续关注我们烟台顺风气体有限责任公司网站。

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